而且電子束設(shè)備的功率可以做得比激光功率大，所以電子束熱處理工藝發(fā)展前景看好。

   用電子束加熱金屬使之表面熔化后，哈默納科熱處理設(shè)備諧波SHF-45-100-2UH可在熔化區(qū)內(nèi)加入添加元素，使金屬表面形成一層很薄的新的合金層，從而獲得更好的物理力學(xué)性能。其中，鑄鐵的電子束熔化處理可以產(chǎn)生非常細(xì)的萊氏體組織，其優(yōu)點(diǎn)是抗滑動(dòng)磨損性能好。研究表明，鋁、欽、鎳的各種合金幾乎均可進(jìn)行添加元素處理，從而使其耐磨性能大大提高。

   4.電子束曝光

   電子束曝光是先利用低功率密度的電子束照射稱(chēng)為電致抗蝕劑的高分子材料，由入射電子與高分子相碰撞，使分子的鏈被切斷或重新聚合而引起分子量的變化，這一步驟也稱(chēng)為電子束光刻。通常將它作為集成電路、微電子器件以及微型機(jī)械元器件的刻蝕前置工序。如果按規(guī)定圖形進(jìn)行電子束曝光，就會(huì)在電致抗蝕劑中留下潛像。然后將它浸入哈默納科熱處理設(shè)備諧波SHF-45-100-2UH適當(dāng)?shù)娜軇┲?，則由于分子量不同而溶解度不一樣，就會(huì)使?jié)撓耧@影出來(lái)，

電子束曝光主要分為兩類(lèi):掃描電子束曝光，又稱(chēng)電子束線曝光;投影電子束曝光，又稱(chēng)電子束面曝光·線曝光是將聚焦到小于1E}m的電子束斑在大約0.5 -5mm的范圍內(nèi)自動(dòng)掃描，可曝光出任意形狀的圖形。